供应MRC943真空溅射镀膜机_深圳市昊光机电科技应用有限公司

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产品目录

供应MRC943真空溅射镀膜机

发布时间：2015年10月12日
有效期：2016年04月12日

详细说明

1、设备名称：MRC943真空溅射镀膜机

2、设备品牌：美国MRC

3、设备规格：MRC943

4、设备介绍：

MRC943采用独特的卧式结构设计及特殊结构的阴极，可实现高溅射，膜厚均匀性和高靶材有效使用率，从研发应用到大批量生产，可沉积介质膜、金属膜等，主要用于集成电路制造、平板显示器、光刻掩膜版、通讯网络、化合物半导体器件、射频功率器件和光电子器件等。

本系统可分为预真空室、溅射区域、RF离子清洗，预真空室具有基片承载盘升降机，使得装卸基片和溅射工艺同时进行，从而实现 “in-line”连续在线工作方式。12”x12”尺寸的基片承载盘，可放置不同尺寸及形状的基片。9个4” 基片/次，4个6” 基片/次，1个12” 基片/次。