供应磁控溅射旋转阴极靶_深圳市昊光机电科技应用有限公司

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供应磁控溅射旋转阴极靶

发布时间：2015年10月12日
有效期：2016年04月12日

详细说明

旋转阴极

特点：

1、采用独特的磁路设计，突破传统模式，更符合磁控溅射的理念。

2、采用独特的结构设计，冷却充分，可满足大功率、大电流使用要求。

3、更高的溅射率，离子密度更强。

4、更高的利用率，高达70以上。

5、尺寸范围：靶材外尺寸70、100、150、250，保持一致的均匀性

6、使用范围：如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO等。

使用领域：装饰镀、工具镀、ITO、光伏、LOE-E玻璃等