AE MDX 10K直流电源_深圳市昊光机电科技应用有限公司

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产品目录

AE MDX 10K直流电源

发布时间：2015年10月12日
有效期：2016年04月12日

详细说明

MDX 系列10 kW电源在真空环境中经久耐用，其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。它们最常用作直流磁控溅射电源；在该领域，二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。

AE MDX直流磁控溅射电源：

Equipment Details: DC Magnetron Sputtering Power Supply

Used as DC magnetron sputtering drives where regulation, superior arc quenching and low output energy are required

Standard Z

Power Output: 10 kW

Regulation: 0.25 percent in all modes, power, current, voltage

Remote panel controller

208V, 3 Ph, 50/60 Hz, 38A.