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供应ATON 1600真空磁控镀膜流水线

  • 发布时间：2015年10月12日
  • 有 效 期：2016年04月12日
详细说明

    1、设备名称：ATON 1600 真空磁控溅射镀膜线

2、产地：美国应用材料公司

3、功能：该系统专门针对光伏太阳能所需要的SIN层镀膜设计，分为7个真空室：进料室、缓冲室、传输过渡室、溅射室1+溅射室2、传输过渡室、缓冲室、出料室。系统整体设计严格，采用分子泵高真空机组，配备高溅射效率的平面靶或旋转靶，采用直流溅射。

设备也可以应用在ITO膜、SIO2膜、金属膜，应用于如太阳能、LOW-E、LED等行业。

4、简要介绍：

4.1、主体结构：7组真空箱体，连续式

4.2、真空泵组：分子泵、高真空系统

4.3、溅射部分：4个阴极溅射

4.4、工件尺寸：1600*800*大尺寸

4.5、配套设施：外围所需配套齐备

4.6、控制方式：全自动过程及工艺控制

 
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